1ナノメートル(1nm)は1/1,000,000ミリメートルで、ナノメートル単位の薄い膜(一般に100ナノメートル以下)をいう。金属、ガラス、樹脂などの基板や粉体の表面にナノスケールの極薄い機能膜を形成することにより素材の表面を改質し、撥水・撥油・離型・防汚などの機能を付与することができる。例えば、タッチパネルの指紋などの汚れ防止、種々金型の離型性向上、光学部品などの撥水性付与ができる。よく使われるナノ薄膜の材料として酸化チタンや酸化ケイ素などがあり、真空蒸着・スパッタ法やゾルゲル法、ナノインプリント法などなどによって形成する。