ディフューザポンプとは

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ディフューザポンプ

拡散ポンプともいい、代表的な高真空ポンプの一種。成膜、走査型電子顕微鏡・質量分析器、ランプの真空排気などに使われる。

加熱した作動液(油)の蒸気を使ってチャンバー(容器)内の気体分子を取り込むことによって真空度を上げていく。駆動部がないため故障は少ないが、作動中に冷却水の供給を止めないことと油を酸化させないよう加熱状態で大気での開放をしないことが注意点となる。
ボイラー内で加熱した油を蒸発させノズルから超音速で噴射させる。噴射した油蒸気は気体分子を捕獲し10-3~10-7Paまでの真空を作り出す。気体分子を捕獲するための圧力範囲は1~10-6Paの真空度を要求するため油回転ポンプなどの粗びきポンプと組合わせて使用する。捕獲された気体分子は下の方に圧縮され、排気口からロータリーポンプで排気される。壁面にあたった油蒸気は冷却され、液体に戻り、底面にもどる。油は循環させて使用でき、半年から数年に一回程度の交換が必要である。なお、水銀蒸気を用いる水銀拡散ポンプもあるが一般には使用されない。

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